在真空條件下已經(jīng)進(jìn)行了許多工業(yè)過(guò)程。線性和旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)必須極其精確和可靠地工作，幾乎不需要維護(hù)，也很少出現(xiàn)故障。在真空中使用電動(dòng)機(jī)時(shí)，用戶必須考慮許多因素。

如果您想自動(dòng)化真空過(guò)程，那么使用標(biāo)準(zhǔn)組件就不會(huì)太遙遠(yuǎn)。普通電機(jī)會(huì)污染顆粒和分子沉積物，從而污染真空。諸如潤(rùn)滑劑，粘合劑，絕緣材料和電路板材料之類的有機(jī)物質(zhì)的放氣會(huì)凝結(jié)在真空室或敏感的測(cè)量?jī)x器上加工的工件上。

作為一種據(jù)說(shuō)便宜的解決方案，標(biāo)準(zhǔn)電動(dòng)機(jī)通常安裝在真空室內(nèi)。這些通過(guò)軸穿通驅(qū)動(dòng)腔室內(nèi)的機(jī)械師。乍一看節(jié)省了空間。但是，要實(shí)現(xiàn)多維運(yùn)動(dòng)的自動(dòng)化，確實(shí)會(huì)變得困難。如果您費(fèi)心地使用導(dǎo)鏈和復(fù)雜的機(jī)械裝置，那么所獲得的空間將很快消失。

使用標(biāo)準(zhǔn)電機(jī)和軸套也有很大的風(fēng)險(xiǎn)。襯套本身的密封是一個(gè)磨損點(diǎn)。在最壞的情況下，真空會(huì)不受控制地受到干擾，并且整個(gè)產(chǎn)品批次都會(huì)在此過(guò)程中被破壞。結(jié)果，不僅有必要更換泄漏的襯套-還必須重建腔室內(nèi)的真空。

輕松實(shí)施多軸力學(xué)

在國(guó)際研究中，真空技術(shù)已經(jīng)使用了數(shù)十年。電機(jī)是在真空中運(yùn)行的，這使得軸穿通成為多余，故障很少發(fā)生。例如，在馬克斯·普朗克地球物理研究所的大型真空系統(tǒng)中，研究機(jī)構(gòu)的時(shí)間緊迫，迫使人們必須使用故障安全解決方案。

現(xiàn)在，工業(yè)界也對(duì)此感興趣，這不僅是成本問(wèn)題。系統(tǒng)設(shè)計(jì)和安裝大大簡(jiǎn)化，避免的停機(jī)時(shí)間和維護(hù)成本也相當(dāng)可觀。使用真空馬達(dá)，即使是復(fù)雜的多軸機(jī)械裝置也可以輕松實(shí)現(xiàn)，例如用于電子顯微鏡的被檢樣品的x，y，z方法。

直接在真空中使用具有許多優(yōu)點(diǎn)，但對(duì)驅(qū)動(dòng)器也有特殊要求。發(fā)動(dòng)機(jī)必須以低排放，強(qiáng)勁而高精度的方式工作。因此，高分辨率混合式步進(jìn)電機(jī)特別適合。它們可以精確，動(dòng)態(tài)地定位，而不會(huì)使反饋電子裝置放氣，并且由于其堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)，它們?yōu)闃O端的環(huán)境條件做好了準(zhǔn)備。為了延長(zhǎng)使用壽命并盡可能降低脫氣率，使用了優(yōu)質(zhì)材料作為絕緣材料和特殊潤(rùn)滑劑。根據(jù)真空等級(jí)和計(jì)劃的占空比，一些制造商還提供優(yōu)化的調(diào)節(jié)過(guò)程。

真空中的溫度管理

特別要注意真空中的溫度管理。一方面是由于繞組中的歐姆和電感損耗，另一方面是由于再磁化導(dǎo)致的鐵和銅損耗，在電機(jī)中產(chǎn)生熱量。需要的轉(zhuǎn)矩或速度越大，電動(dòng)機(jī)中的熱損失就越大。因此，真空電動(dòng)機(jī)必須具有比標(biāo)準(zhǔn)電動(dòng)機(jī)更好的耐熱性。特殊材料和智能加熱概念至關(guān)重要。流行的釹磁鐵由于居里溫度低而不合適，因?yàn)樗鼈円言谡婵諔?yīng)用的典型溫度范圍內(nèi)消磁。由于沒(méi)有可用的空氣作為冷卻介質(zhì)，由此產(chǎn)生的能量損失（除了熱輻射）僅通過(guò)所連接的機(jī)械裝置的傳導(dǎo)來(lái)消除。通過(guò)直接集成到繞組中的溫度傳感器進(jìn)行監(jiān)控，確保符合限值。

涂層工藝的用戶特別受益于這些優(yōu)化的性能。例如，在OLED生產(chǎn)中的濺射系統(tǒng)中，通常要達(dá)到500°C或更高的溫度，除氣速率必須最小，旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)必須極其精確和均勻。正確組裝的真空步進(jìn)電機(jī)可直接用于需要扭矩的地方，通過(guò)適當(dāng)?shù)目刂?，可為?fù)雜要求提供出色的解決方案。

設(shè)計(jì)真空應(yīng)用

為了可靠，高性能地設(shè)計(jì)真空應(yīng)用，必須考慮多個(gè)方面：從避免關(guān)鍵軸直通到選擇合適的球軸承，潤(rùn)滑劑和耐高溫磁體系統(tǒng)，再到集成溫度傳感器及其監(jiān)控能力。來(lái)自研究和太空旅行的成熟技術(shù)也可以在這里用于工業(yè)應(yīng)用。真空馬達(dá)是為滿足這些高要求而設(shè)計(jì)的，理想情況下，制造商已經(jīng)對(duì)其進(jìn)行了調(diào)理，因此可以立即使用。

市場(chǎng)提供步進(jìn)電機(jī)控制，除了適當(dāng)?shù)妮敵黾?jí)外，還具有集成的溫度和旋轉(zhuǎn)變壓器監(jiān)控模塊，從而保證了最大的精度和使用壽命。如果制造商還為電機(jī)提供滾珠軸承服務(wù)，則對(duì)應(yīng)用程序的使用壽命幾乎沒(méi)有限制。